潔凈車間氣體管道標準要求

  潔凈車間工業氣體管道的干管，應敷設在技術夾層、技術夾道內，氫氣和氧氣管道明敷，如敷設在技術夾層、技術夾道內時，應采取良好的通風措施。高純氣體管道設計，應根據計算確定管徑；管道系統應盡量短；不宜設預留口；不應出現“盲管”等不易吹除的部位；干管和支管上應設置吹除口；在管系統上應設置吹除口；穿過潔凈車間墻壁或樓板的氣體管道，應敷設在預埋套管內，套管內的管段不應有焊縫，管道與套管之間應采取可靠的密封措施；氫氣和氧氣管道的末端或最高點宜設放散管，放散管應高出屋脊1m，并應設在防雷保護區內；氣體凈化裝置應根據氣源和生產工藝對氣體統一計劃的要求進行選擇，氣體終端凈化裝置應設置靠近用氣點處；氣體過濾器應根據生產工藝對氣體含塵量的要求進行選擇，高純氣體管道應裝設高效氣體過濾器。

  根據不同的氣體及其純度和用途，管道材料選用：氣體純度大于或等于99.999%時，應采用不銹鋼管；氣體純度大于或等于99.99%時，宜采用不銹鋼管、銅管、無縫鋼管；氣體純度小于99.99%時，可采用無縫鋼管。管道與設備的連接段，宜采用金屬管道，如為非金屬軟管時，宜采用聚四氯乙烯管、聚乙烯管、不得采用乳膠管；高純氣體管道與附件連接的密封墊，應采用不銹鋼、有色金屬或氟橡膠材料；高純氣體管道應采用密封性能好的低門和附件，其材料與管道相適應，閥門的密合圈應為有色金屬、不銹鋼或聚四氯乙烯材料，閥門的填塞料應采用聚四氯乙烯材料。中凈環球凈化可提潔凈車間、潔凈廠房的咨詢、規劃、設計、施工、安裝、改造等配套服務。

  管道連接應采用焊接，高純氣體管道應采用承插焊；管道與設備、閥門的連接處，宜采用法蘭、螺紋或其他密封性能優良的連接件，螺紋處宜采用聚四氯乙烯帶密封；高純性氣體管道的內壁、閥門和附件在安裝前，應進行清洗、脫脂等預處理；氫氣管道的支管和放散管上，應設置回火防止器；氫氣和氧氣管道應設置導除靜電裝置；各種氣體管道應設明顯標志。

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