潔凈凈化廠房靜電測試

潔凈凈化廠房內往往存在著不容忽視的靜電，是導致電子器件、電子儀器和設備損壞或性能下降的重要因素之一，對芯片制造影響尤為嚴重。此外還是潔凈凈化廠房在生產過程中有特殊氣體或粉塵產生導致存在影響，潔凈凈化廠房靜電對塵埃的吸附效應也造成生產環境和產品各個壁面的塵埃聚集影響潔凈凈化廠房的環境和產品被污染。

1.相關的規范規定

潔凈凈化廠房相關規范對靜電防護問題從設計到運行都有具體的規定。例如，潔凈凈化廠房設施應該選用那些既不會產生也不能蓄積大量靜電的建筑材料，為保護對靜電敏感的設備、器件，地面電阻應該在R_E=10⁴?~10⁷?范圍內，表面聚集電荷的限定值應小于2kV等。

國家標準《潔凈廠房設計規范》規定：潔凈凈化廠房地面層應具有導電性能并應保持長時間穩定，其地面表層應采用靜電耗散性材料，其表面電阻應為1.0×10⁵~1.0×10¹²?或體積電阻率為1.0×10⁴~1.0×10¹¹?·cm。地面應設有導電泄放措施和接地構造，其對地泄放電阻應為1.0×10⁵~1.0×10⁹?等。不同標準在具體限值的數量上或略有差異，測試前宜與業主商定達標的限值。

2.靜電測試方法

靜電測試通常包括兩部分內容：一是靜電測試本身，其目的是掌握產品表面上的靜電電荷和地面、工作臺面或其他設施的靜電電壓的耗散率；二是離子生成器測試，其目的是通過監測器測量初始充電的放電時間，和通過測定隔開來的監測板的補償電壓來評估其性能。上述兩部分測量結果都能反映清除或中和靜電荷的效率和產生的正負離子量間的不穩定性。

3.表面電壓水平的測量

通常采用靜電壓計或場強計測定設備和產品表面的正負靜電荷，具體方法是把靜電電壓計或場強計的輸出調節為0，按儀器說明書規定，讓探測器面朝接地的金屬板，探測頭保持使測孔平行于所規定的某個距離處放置的板，記錄靜電壓計的讀值。

4.靜電耗散性的測量

通過測量表面上不同位置之間的電阻---表面電阻和表面和地面之間的電阻---漏電電阻來評定靜電耗散特性，一般采用高阻歐姆計來測量。

采用有足夠重量和尺寸適當的電極來測量表面電阻和漏電電阻。測量表面電阻時，要注意電極位置與表面保持正確的距離。中凈環球凈化可提供潔凈車間、凈化廠房的咨詢、規劃、設計、施工、安裝改造等配套服務。

5.離子生成器測試

本項測試的目的是用以評估雙級離子生成器的性能，測試內容為測試放電時間和補償電壓，放電時間將用以計算離子生成器消除電荷的效率，補償電壓將用以評估在離子生成器生成的離子化氣體中正負離子的不穩定性。離子的不穩定性會造成不利的殘余電壓。

測量工作由稱之為“充電板監測器”的設備完成，該設備由導電監測板、靜電電壓計、計時器和電源等構成。

6.放電時間的測量

采用已知電容，例如20pF的絕緣導電板作為監測板，開始時用電源給監測板充電并達到已知的正或負電壓，隨后將監測板暴露在被評估的雙級離子生成器離子化的氣體中，用靜電電壓計測量板上的靜電荷，同時以計時器配合測量板上電壓隨時間的變化。

放電時間的定義是監測板上的靜電荷減少到100%初始電壓所需的時間，由用戶和供應商協商確定作為驗收標準的測試點的位置和測定結果。

7.補償電壓的測量

采用類似的監測板裝在絕緣器上，用靜電電壓計監測絕緣板上的電荷，以測量補償電壓。開始時將板接地去除殘余電壓，確認板上的電壓為0，隨后把板放在離子化的氣體中，直到電壓計的指示值達到穩定為止，該值即為所測的補償電壓。

至于離子生成器的允許補償電壓取決于工作區的物體對靜電荷的敏感性，所以允許的補償電壓應由用戶與供應商協商確定。

8.測試報告

測試報告需要包括的內容應有：

(1)儀器使用者或數據收集設備的名稱；

(2)測試儀器的名稱及其校準狀態；

(3)測試和測量類型和測量條件；

(4)溫度、濕度和環境數據；

(5)測點位置；

(6)潔凈凈化廠房所處的狀態。

本文由中凈環球凈化CCG(www.xdfec.cn)提供，轉載請注明出處。