無塵廠房的排風及排氣處理

無塵廠房的排風及排氣處理主要包括一般排風系統、熱排風系統、酸性排風系統、堿性排風系統、特種氣體排風系統、有機排風系統等。各種排風系統排出的氣體中所含物質及其濃度不同，且排出氣體中所含物質的物化性質常常決定了排氣系統的形式、組成和處理方法，特別是近年來電子工業中集成電路、光電顯示器等的制造過程使用數十種特種氣體、高純化學品。使用這些物質的生產設備排出的氣體中含有氧化性、腐蝕性、酸性、堿性等物質，有些工藝生產設備排出的氣體中物質的濃度還較高，并且這些物質常常對人體傷害大，遠超過衛生標準規定的“限值”；所以在設置有此類生產工藝設備的無塵廠房內將排風系統分為集中或中央氣體處理系統和現場氣體處理裝置或尾氣處理設備。通常將尾氣處理設備設在相關的生產工藝設備鄰近處或無塵廠房的下技術夾層內，工藝設備的排氣管以很短的距離排入尾氣處理裝置進行相應方法的處理，達到要求或可達到的濃度后再經排氣管道輸送至集中廢氣處理裝置。經過相應方法的處理去除達到規定的排放標準后排放至大氣，目前電子工業無塵廠房中的一些生產工藝設備可配套提供尾氣處理裝置。

一般排風系統主要用于滿足房間通風換氣次數的要求和一般工藝設備排風的要求。風管通常采用鍍鋅鐵皮制作，風管斷面有矩形和圓形，矩形金屬風管的制作，圓形風管通常采用螺旋風管或鐵皮卷制，螺旋風管一般由專門廠家生產，包括三通、彎頭、大小頭、偏心管等。圓形螺旋風管通常采用角鋼活套法蘭的形式及無法蘭形式連接。無論是矩形風管還是成品的螺旋風管，其制作標準都須符合現行相關規范的要求。純水站、污水處理站、動力站、變電站、空調機房等動力輔助用房應設置一般排風系統；無塵廠房的換鞋間、衛生間、真空泵房等與無塵廠房相關的功能房間應設置一般排風系統。熱排風系統主要用于工藝設備的散熱排風，熱排風系統一般都單獨設置，不得與酸性或堿性排風、特種氣體排風、有機排風等系統連接混合排氣，風管須保證與周邊環境的安全距離。若熱排風風管對設備、管線等部位或對無塵廠房的溫濕度造成影響時，宜對排風管進行保溫處理。熱排風一般不需要進行處理就可直接排入大氣，系統材質采用鍍鋅鋼板。堿性氣體排風系統主要用于生產工藝設備排出的含有堿性污濁物質的排氣，一般經排風管道集中輸送至填料洗滌塔進行處理達標后方可排放；風機應采用玻璃鋼風機，變頻控制，排風管末端應設置壓差傳感器與對應風機聯鎖。中凈環球凈化可提供凈化車間、潔凈廠房等的咨詢、規劃、設計、施工、安裝、改造等配套服務。

酸性氣體排風處理系統主要用于生產工藝設備等排出的含有酸性污濁物質的排氣，由于產品生產工藝不同，在依據生產工藝要求使用各類酸性化學品反應后排出的氣體中酸性物質的濃度會有不同。集中的酸氣體系統應采用填料洗滌式設備，有機物氣體處理系統主要用于生產工藝設備排出的含有揮發性有機物質的排氣，這類排氣中含各種不同碳氫化合物形態的有機物質，基本上均屬于可燃、有刺激氣味的氣體，對作業人員的健康、環境空氣質量影響大，應合理采用不同的處理方法對其進行處理。據了解，目前在微電子無塵廠房中當揮發性有機物的濃度不超過50mg/m³時，可采用活性炭吸附法;不超過1000mg/m³時，宜采用轉輪濃縮法等;高于1000mg/m³時，宜采用熱氧化法。

基本要求：無塵廠房的排風與特種氣體處理是確保產品生產環境和空氣潔凈度要求的重要環節，為使排風與氣體處理設備的施工質量真正做到滿足產品生產要求，GB51110中提出了排風、排風系統的材料、附件和設備應符合工程設計圖紙的要求。由于無塵廠房的排風與特種氣體處理系統排出的排氣都程度不同地對環境或公共衛生有一定的影響，所以排風與特種氣體處理系統所用的材料、附件和設備除應符合工程設計文件的要求外，還應遵守相關環境保護、公共衛生方面國家現行標準規范的規定。排風、排風系統的施工材料、附件和設備應具有產品合格證書和進入施工現場應辦理的手續、質量記錄等。這些均為確保排風、排風系統施工質量的基本條件。對于排風與特種氣體處理施工中的隱蔽工程，應經過驗收并做好記錄后再進行隱蔽。排風系統應按風管內的排氣類型及其介質種類、不同濃度進行管道涂色標識，對人體健康有影響的排風應作出特殊標識;管路應標明流向，這是避免隱患和確保排風與特種氣體處理系統正常、安全可靠運行和維修管理的要求。鑒于排風與特種氣體處理系統與凈化空調系統的關聯性和各排風系統與產品生產工藝的關聯性、獨立性，所以排風系統的調試與試運轉應與凈化空調系統同步進行，各個氣體處理與排風系統應分別單獨地進行調試和試運轉。

本文由中凈環球凈化CCG(www.xdfec.cn)提供，轉載請注明出處。