廠房凈化車間清潔用具及操作方法

廠房凈化車間用的清潔器具與家庭或公共場所使用的清潔器雖然相似，但它們之間卻有很大區(qū)別。例如，市售的干刷子每分鐘可產(chǎn)生5千萬個大于等于0.5μm的粒子，所以絕不能用干刷子清掃廠房凈化車間。用于一般場所的線拖布也不能用于廠房凈化車間，因為它每分鐘產(chǎn)生的大于等于0.5μm的粒子將近2千萬個。也就是說，普通的清潔用具對于廠房凈化車間來說非但不能有效發(fā)揮清潔作用，往往反而是一個污染源。根據(jù)廠房凈化車間常用的潔凈方法，其相應(yīng)的清潔用具的特點分述如下。

1.干法真空與濕法真空系統(tǒng)

干法真空吸塵器是一種普遍應(yīng)用的清潔方式，費用相對較低。但要注意的是，其排氣若未經(jīng)可靠的過濾，則一定不能排在廠房凈化車間內(nèi)，否則等于灰塵搬家，廠房凈化車間空氣將被污染。要解決這個問題，可以采用一個外置的中央真空源，將抽吸進來的含塵空氣排到廠房凈化車間以外。或者在真空吸塵系統(tǒng)上安裝一個帶有高效或超高效過濾器的小型排風(fēng)處理裝置。該過濾器須安裝在發(fā)動機的后面，以確保發(fā)動機產(chǎn)生的粒子不會擴散到廠房凈化車間中。

濕法真空吸塵系統(tǒng)則要同時使用清潔劑，清潔劑可增加對表面附著粒子的拖拽力，所以濕法真空吸塵系統(tǒng)比干法真空吸塵系統(tǒng)效率更高。濕法真空吸塵一般比濕拖布擦拭更為有效，因為使用它清潔后廠房凈化車間地板上殘留的待干液體更少，所以地板留下的污染物更少，而且地板干燥的時間也更短。但濕法真空吸塵系統(tǒng)常用于清潔紊流廠房凈化車間的地面，而不適合于清潔垂直單向流廠房凈化車間的那種通風(fēng)式格柵地板，因為清潔劑可能沿格柵間隙流到回風(fēng)靜壓空間。

便攜式真空吸塵器一般采用不銹鋼或塑料制作，其配用的軟管、手柄和各種吸塵頭都須采用與廠房凈化車間相容的材料制造，其配用的高效或超高效空氣過濾器要定期進行測試和更換，確保其不至于成為廠房凈化車間內(nèi)的一個懸浮污染源。

如果設(shè)置中央真空吸塵系統(tǒng)，通常將真空泵放在廠房凈化車間外部服務(wù)區(qū)，通過塑料管道連接到廠房凈化車間各區(qū)墻上的快速接口，清潔人員工作時，將吸塵頭的軟管與真空吸塵系統(tǒng)的接口連上即可。

2.拖布

家用海綿式或其他類型合成材料制作的拖布，在新的時候污染較少，但易破損后污染顯著增加，所以不宜在廠房凈化車間使用。

廠房凈化車間用的拖布宜采用表面不易破損的材料制造，其制造材料有PVA、帶孔發(fā)泡聚乙烯或聚氨酯纖維。這些材料對滅菌劑、溶劑的相容性需要進行檢驗，以確定其是否合適。此外根據(jù)相關(guān)的建議，對所用擦拭物還應(yīng)關(guān)注的問題有：對液體的吸附率；濕時與干時的粒子產(chǎn)生情況；有無引起分子污染的可能等方面。

拖布把用玻璃纖維或其他不脫屑的塑料制造。水桶要用塑料或不銹鋼材料制造，不宜使用鍍鋅鐵桶，一般宜配有給水的容器。

簡易的方法是采用單桶法，即在桶內(nèi)放入含有清潔劑或滅菌劑的水，使用拖布對廠房凈化車間進行清潔。但這種方法所能達到的潔凈度水平可能滿足不了某些廠房凈化車間的要求。因為從地板上清除掉的塵埃會涮入桶中，然后又被拖布帶回到地板上。

在使用滅菌劑時，特別是氯基滅菌劑時，臟物會抵消滅菌劑的效果。雖然經(jīng)常更換桶中的溶液，也可以解決這個問題。而采用雙桶或三桶方式，則可以在這方面有很大的改進。中凈環(huán)球凈化可提供潔凈廠房、凈化車間的咨詢、規(guī)劃、設(shè)計、施工、安裝改造等配套服務(wù)。

雙桶或三桶方式使用方法，其步驟如下：

(1)先將拖布浸入活性溶劑中，然后取出。必要的話，可以擠去其中多余的溶劑。然后讓液體擴散在地板上，并使用拖布擦拭或滅菌；

(2)將拖布中吸入的大部分臟水?dāng)Q出；

(3)把擠干的拖布浸入潔凈水中清洗；

(4)再把拖布多余的水分?jǐn)Q干；

(5)后把用清水洗凈并擠干的拖布又放入活性溶液中，吸附活性溶劑。

至此，又可以重新開始下一輪新的清潔步驟。

若使用“雙桶式”，則在一個桶中放滿活性溶劑，另一個桶中放滿清潔水。當(dāng)然第二個桶也可以用來收集廢液，但顯然雙桶式的效率不如三桶方式好。水桶可以整齊地放在清潔平板車上，隨清潔人員推進廠房凈化車間進行清潔工作，要注意行進路線，防止清潔平板車的車輪污染已清潔或滅菌的地面。

3.抹布

可用經(jīng)過洗滌液或滅菌液醮濕的抹布，擦拭廠房凈化車間的表面以清除污染。抹布也可用來擦去廠房凈化車間的產(chǎn)品上所沾的污染物，也可用來擦干濺出來的拖布液。在廠房凈化車間中不能使用一般的家用抹布，因為家用抹布所散發(fā)的粒子濃度、纖維含量、化學(xué)污染都很高，并會殘留在其擦拭的表面上。

對抹布的選擇要根據(jù)廠房凈化車間內(nèi)的污染情況而定。可以清除表面上所有污染的完美抹布是沒有的。抹布選擇是質(zhì)量、成本等因素間的一種平衡，廠房凈化車間用抹布與拖布的要求相近，選用時主要在以下幾個方面予以關(guān)注：

（1）.吸水性

抹布的吸水性是一個重要指標(biāo)。抹布常常用來擦去濺灑的液體物質(zhì)或進行類似的清潔工作，因此須了解抹布的吸水性。既要了解其吸水量，也要了解其吸水速率，這種特性在污染控制中也是重要的。具有良好吸水性的抹布留在表面的污染物，比吸水性差的抹布少。如果用抹布擦拭廠房凈化車間的表面后幾乎沒有留下什么液體的話，則留下的粒子也會更少。

（2）.抹布造成的污染

抹布是廠房凈化車間內(nèi)較臟的物品之一。一塊抹布所含的粒子數(shù)量，可能是室內(nèi)全部空氣中所含粒子的很多倍。所以須要選擇粒子散發(fā)量低的抹布。另外還應(yīng)注意抹布的邊緣，抹布邊緣粗糙易產(chǎn)生纖維和粒子的污染。

在抹布處于濕的狀態(tài)時，抹布內(nèi)的可溶物質(zhì)可能會溶解。能夠由水或溶液浸出的物質(zhì)稱為“浸出物”。用抹布擦拭時，這些被“浸出物”物質(zhì)就有可能轉(zhuǎn)移到所擦拭的表面。在半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)特別防范的浸出物是金屬離子，為此通過檢驗?zāi)ú贾薪鑫锏臄?shù)量和類型，就可確定適合于某項具體工作的抹布。

（3）.抹布的其他性能

應(yīng)于以考慮的抹布的其他性能有：紡織品強度；耐磨性；靜電(或抗靜電)特性；抗菌性。

4.粘輪及地板擦洗系統(tǒng)

粘輪的大小和形狀與家用油漆滾輪相似，不過是在滾輪的外層裝有黏性材料。當(dāng)用滾輪滾過廠房凈化車間的表面時，被清潔表面附著的粒子就被粘到滾輪的黏性表層上面，粘輪適合用于清除墻及頂板上附著的污物。

清潔廠房凈化車間也可以使用帶有旋轉(zhuǎn)刷的地板擦洗機，所用的擦洗機須是專為洗滌廠房凈化車間地面的那種，這種擦洗機刷子的外邊有一圈裙邊和遮蓋罩，內(nèi)裝有帶高效過濾的真空泵，擦洗地板時產(chǎn)生的粒子由排風(fēng)系統(tǒng)抽吸，再經(jīng)高效過濾器過濾后排出。

有關(guān)規(guī)定提示，廠房凈化車間在決定采用地板擦洗系統(tǒng)前，對其性能應(yīng)有充分了解，并作出評估，判定其是否與使用它的廠房凈化車間相容。

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