凈化潔凈車間受控環境顆粒物沉積的測量

凈化潔凈車間測量顆粒物沉積的較佳方法是在已知時間內收集觀測片上的顆粒物。

該方法是采用物性與所關注工藝或產品表面相近的、面積合適的觀測片在規定的環境和工藝條件下收集沉積的顆粒物，經過足夠長時間的采集后，用光學顯微鏡、電子顯微鏡或表面掃描設備，測量統計觀測片上的粒子尺寸和數量。若采用顆粒物沉降光度計或光學顆粒物沉積測試儀可獲得顆粒物沉降速率，沉積顆粒物的數值可用單位時間內單位面積上，顆粒物的數量、質量或濃度表示。

1.凈化潔凈車間顆粒物沉積測試程序

觀測片與關注的易損表面應在同一平面，并且盡可能靠近。觀測片與關注表面的電極性應一致。遵照以下程序進行操作：

(1)驗證凈化潔凈車間或相關受控環境各方面的功能運行正常，符合測試規定要求。

(2)規定觀測片的唯一性和潔凈度，其表面顆粒物應盡量少，并通過檢驗確定各片的本底濃度，予以編號和記錄。

(3)在保證傳輸過程中不產生表面污染的條件下，將觀測片移送到被測位置。

(4)根據所處環境的潔凈度、運行模式等因素，合理確定觀測片的暴露時間。以保證有足夠的量的粒子沉積在其上，使測量數據滿足統計學的要求。如有必要，應調整暴露時間。

(5)采樣終止后，使用清凈的密閉容器保存觀測片，防止在檢測前受到二次污染。

(6)使用合理的設備，觀測觀測片上顆粒物數量和尺寸，并根據尺寸進行大致的分類。

將暴露前后所觀測的濃度相減，即可得到沉積的凈濃度。再除以暴露時間，就可得到顆粒物沉積速率R_D。中凈環球凈化可提供凈化廠房、潔凈車間的咨詢、規劃、設計、施工、安裝改造等配套服務。

(7)計算R_D×D，再用公式PDC=lg(R_D×D)計算顆粒物沉積等級。

2.顆粒物沉積代測板材料

依據需待測的粒徑、測量手段來確定代測板的用材：

(1)微孔濾膜；

(2)雙面膠帶；

(3)培養皿；

(4)含對比色(黑色)聚合物(如聚酯樹脂)的培養皿；

(5)攝影膠片(薄片)；

(6)顯微鏡載玻片(普通片或帶金屬鍍膜)；

(7)玻璃或金屬鏡片；

(8)半導體晶圓坯料；

(9)玻璃掩膜基片。

為了易于看到粒子，代測板的表面光潔度應與待測粒子的粒徑相應。所用測量手段應能分辨并測量所關注的較小粒徑。

3.顆粒物沉積測試設備

根據關注的顆粒物尺寸，常用的顆粒物沉積測試設備可分為以下幾類：

(1)光學顯微鏡適用于測量≥2μm的顆粒物，可采用物鏡上帶有的線性和圓形網格來定標顆粒物的尺寸。

(2)電子顯微鏡可測量≥0.02μm的顆粒物，通常使用已知線對定標光柵來確定圖像的實際尺寸。

(3)表面打描分析僅可測量≥0.1μm的顆粒物；顆粒物沉降儀可測量≥10μm的顆粒物，一般都依據生產廠而給出的定標信息，推測出觀察片上的顆粒物數據。

4.測試報告或記錄文件

可通過檢測以獲得指定區域的PDC，或者用于檢查該區域是否滿足對關注粒徑的PDC。

測試工作結束后，以下信息和數據應被記錄：

(1)測試單位的名稱、通信方式、測量日期；

(2)測量條件和測量方法；

(3)所依據的標準或指南的代號、名稱和年份；

(4)測量對象所在的潔凈室及相關受控環境相關區域的位置，所有采樣區域的坐標；

(5)需測量關鍵表面所處環境的潔凈度等級、測試時的占有狀態和關注的粒徑。

(6)所用觀測片的技術細節，即初始狀態的檢定結果及相應編號；

(7)觀測片在測定位置暴露過程、時間等細節；

(8)用于確定觀測片上顆粒物尺寸和分布的測量設備的細節與測量方法相關的特殊條件，設備鑒定和校準情況；

(9)測試結果，包括測量值是否符合的評價報告。

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