潔凈室的空間布置設(shè)計

潔凈室空間布置主要是根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求，合理布置生產(chǎn)工藝設(shè)備及相應(yīng)的物料傳輸設(shè)備、物料管線等，做到有效、靈活，有利于產(chǎn)品生產(chǎn)或技術(shù)改造等。根據(jù)空氣潔凈度等級要求，按所選擇的氣流流型做好空間布置；合理安排、組織好各類管線，包括凈化空調(diào)系統(tǒng)用新風(fēng)、送風(fēng)、回風(fēng)和排風(fēng)管道及各種水、電、氣管線的走向、布置和間距以及維修管道等；妥善安排高效過濾器、照明燈具以及各類公用動力設(shè)施用設(shè)備、附件的布置和必要操作、維修間距；充分考慮各類產(chǎn)品生產(chǎn)用工藝設(shè)備、凈化空調(diào)系統(tǒng)及設(shè)備和產(chǎn)品生產(chǎn)所必需高純物質(zhì)制取、輸送設(shè)施布量、管理以及穩(wěn)定的電力供應(yīng)裝置等是潔凈間空間設(shè)計的主要依據(jù)。非單向流潔凈室的空間布置一般采用單層布置，在頂部或側(cè)墻設(shè)技術(shù)夾層、技術(shù)夾道，用以布置各類風(fēng)管、動力公用管線和少量生產(chǎn)輔助設(shè)備或公用動力設(shè)備；少數(shù)因產(chǎn)品生產(chǎn)工藝或占地等因素也可采用非單向流潔凈室迭層布置為多層無塵廠房。非單向流潔凈室的空間布置應(yīng)安排好技術(shù)夾層、技術(shù)夾道各種管道、線路等的設(shè)置；技術(shù)夾層是以水平分隔構(gòu)成的潔凈輔助空間，通常設(shè)在潔凈間的頂棚上部，主要是容納各類風(fēng)管、靜壓箱、空氣過濾器和各種水、電、氣管線等。技術(shù)夾道或技術(shù)豎井是以垂直分隔構(gòu)成的潔凈間輔助通道、豎井，主要是容納回風(fēng)管、排風(fēng)管和水、電、氣管線以及少量生產(chǎn)工藝用輔助設(shè)備、公用動力設(shè)備與附件等。有時技術(shù)夾道作為回風(fēng)管道或回風(fēng)靜壓箱，技術(shù)豎井是作為容納豎向尤其是越層豎向管線之用，當(dāng)作為越層豎井時應(yīng)注意防火消防措施的設(shè)計。為確保潔凈間的規(guī)定潔凈度等級，應(yīng)對技術(shù)夾層、技術(shù)夾道采取必要的裝飾清潔措施。

潔凈室空間尺寸的確定:非單向流潔凈室的層高應(yīng)以生產(chǎn)工藝設(shè)備的尺寸和操作需要以及物料傳輸設(shè)備的尺寸等因素確定，一般為3.0~3.5m;為降低費用，在不影響使用效果的情況下可降至2.8m;生產(chǎn)設(shè)備的尺寸較高時，可達(dá)4.0m甚至更高。潔凈間層高直接關(guān)系到送風(fēng)量和造價、運行費用。技術(shù)夾層的空間尺寸，通常為2.0~2.5m；若因各種管線布置或需設(shè)有生產(chǎn)用輔助設(shè)備或公用動力設(shè)備、附件時，可適當(dāng)加大，技術(shù)夾道一般為1.2~2.0m。單向流潔凈室的空間布置廣泛應(yīng)用于微電子產(chǎn)品或某些電子器件產(chǎn)品的生產(chǎn)過程，目前超大規(guī)模集成電路產(chǎn)品生產(chǎn)要求生產(chǎn)環(huán)境控制粒徑0.1um、0.05pum，達(dá)到IS04~5級或更嚴(yán)格的級別。為適應(yīng)此種要求，單向流潔凈室的空間布置已從“單層”發(fā)展到“二層或三層”，并主要采用垂直單向流潔凈室。單向流潔凈室的上部為送風(fēng)靜壓箱，下部為回風(fēng)地板和回風(fēng)道，側(cè)面為回風(fēng)靜壓箱、各類公用動力管道和少量輔助設(shè)備等，回風(fēng)經(jīng)空氣處理后送至送風(fēng)靜壓箱。這類潔凈室的空間布置靈活性較差，當(dāng)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝或產(chǎn)品數(shù)量擴大時，進(jìn)行生產(chǎn)工藝平面布置調(diào)整困難。潔凈間上部為技術(shù)夾層，布置送風(fēng)管、排風(fēng)管和各種公用動力管線，集中設(shè)置空氣凈化處理裝置。中凈環(huán)球凈化可提供潔凈車間、凈化廠房等的咨詢、規(guī)劃、設(shè)計、施工、安裝、改造等配套服務(wù)。

本文由中凈環(huán)球凈化CCG(www.xdfec.cn)提供，轉(zhuǎn)載請注明出處。