微振控制的潔凈廠房設計

       微振控制要求的潔凈廠房設計應符合下列規定，在結構選型、隔振縫設置、壁板與地面、壁板與頂棚連接處，應按微振控制要求設計。潔凈室與周圍輔助性站房內有強烈振動的設備及連接管道應采取主動隔振措施。應測定潔凈廠房內、外各類振源對潔凈廠房精密設備、精密儀器儀表位置處的綜合振動影響，以決定是否采取被動隔振措施。有微振控制要求的潔凈廠房，設計應考慮建筑結構的選型及地面(樓面)的構造做法，如增加基礎及上部結構垂直及橫向剛度，增加地面(樓面)剛度，能有效減小振動影響。此外，還應考慮隔振縫設置及其有效的構造措施，壁板與地面及頂棚采用柔性連接等，均能減小振動傳遞。即減小了對精密設備、儀器儀表的振動影響。在潔凈廠房設計中，應首先考慮對強振源采取隔振措施，以減小強振源對精密設備、儀器儀表的振動影響，在此基礎上，精密設備、儀器儀表再根據各自的容許振動值采取被動隔振措施，就大致能夠達到預定目的。精密設備、精密儀器儀表的容許振動值應由生產工藝和設備制造部門提供；當生產工藝和設備制造部門難以提供容許振動值時，可按現行國家標準《隔振設計規范》的有關規定執行。精密設備、精密儀器儀表的被動隔振設計應具備下列條件:周圍振源對其綜合影響的振動數據，設備、儀器儀表的型號、規格及輪廓尺寸圖，設備、儀器儀表的質量、質心位置及質量慣性矩，設備、儀器儀表的底座外輪廓圖，附屬裝置，管道位置及坑、溝、孔洞尺寸，地腳螺栓及預埋件位置等；設備、儀器儀表的調平要求，設備、儀器儀表的容許振動值；所選用或設計的隔振器或隔振裝置的技術參數、外形尺寸及安裝條件。

      精密設備、精密儀器儀表的被動隔振設計應符合下列規定，隔振臺座應具有足夠的剛度，隔振臺座應采取傾斜校正措施。隔振系統各向阻尼比不應小于0.15，隔振措施不應影響潔凈室內的氣流流型，精密設備、儀器儀表的被動隔振措施，由隔振臺座及隔振器(或隔振裝置)組成。根據隔振設計計算需要，設定隔振臺座為不變形剛體，為此應對隔振臺座的形狀、幾何尺寸及材質選用等方面加以考慮，使之具有足夠的剛度。某些精密設備、儀器儀表在運行時，由于移動部件位置變化或加工、測試件的質量及質心位置變化，使各隔振器的變形量不相等，隔振臺座發生傾斜，導致精密設備、儀器儀表難以正常工作。為此，應設置校正傾斜裝置，使隔振臺座保持原有的水平度，以保證精密設備、儀器儀表的正常運行。隔振系統阻尼過小，會產生較大的自振，以及受外界突發干擾(如對隔振臺座的沖擊、室內氣流的擾動影響等)，造成隔振臺座晃動，這種振動值有時會大于精密設備、儀器儀表的容許振動值，影響其正常運行。為此應增大隔振系統阻尼值，才能減小此類振動。通過多項工程實踐表明，隔振系統阻尼比不小于0.15是比較恰當的。精密設備、精密儀器儀表的被動隔振措施宜采用能自動校正傾斜的的氣源應進行凈化處理。空氣彈簧的垂直向、橫向剛度很低，使隔振系統具有很低的固有振動頻率，同時它具有可調節阻尼值的特性，隔振系統可獲得需要的阻尼，因此，隔振系統具有良好的隔振效果。當配用高精度控制閥時，可自動校正隔振臺座的傾斜。由于空氣彈簧具有其他隔振材料及隔振器不可替代的優越性，已被我國及國際工程界普遍采用作為精密設備、儀器儀表的隔振元件。用于被動隔振措施的空氣彈簧隔振裝置由空氣彈簧隔振器、高精度控制閥、儀表箱及氣源組成。由于空氣彈簧隔振裝置在校正隔振臺座傾斜時會排出氣體(如壓縮空氣、氮氣等)，因此對氣源應進行凈化處理，使其達到潔凈室的空氣潔凈度等級。中凈環球凈化可提供潔凈廠房、無塵廠房等的咨詢、規劃、設計、施工、安裝、改造等配套服務。

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